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CMP装备 离子注入装备 减薄装备 边沿抛光装备 划切装备 湿法装备 膜厚丈量仪 晶圆再生 要害耗材与维保效劳
晶圆再生

永利集团拥有标准的晶圆再生生产车间,, ,专业的CMP/Wet洗濯手艺团队,, ,可凭证客户种种制程要求,, ,提供全方位的手艺支持、销售和代工效劳。。。。

优势
低研磨量:接纳CMP装备研磨,, ,相比古板再生方法,, ,更低的研磨量可通过晶圆再生为FAB厂大大降低本钱
18万片月出货:建设整套先进FAB厂的Cu/Non-Cu完全物理隔离的晶圆再生工艺流程,, ,出货量18万片/月
26nm颗???刂疲和晟频南呱螹ES系统生产流程管控,, ,其26nm颗???刂剖忠沾τ谛幸盗煜人
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