iPUMA-LT是永利集团在已有成熟大束流的基础上，，，凭证成熟器件手艺的要求开发的12英寸低温离子注入机。。。。。。该装备配备了低温事情？？？椋，温度检测单位和回温？？？椋，知足成熟制程手艺需求。。。。。。
海内自主研发的冷工艺离子注入平台
离子注入工艺历程中维持低温状态
冷注入完后的晶圆回温手艺
知足成熟制程的手艺需求
