iPUMA-HP是永利集团在已有成熟大束流的基础上，，，，， ，刷新成12英寸氢离子大束流离子注入机。。。该装备配备了优异的粒子筛选和冷却模 ？？，，，，， ，知足薄膜转移手艺工艺中颗粒数和工艺温度的控制，，，，， ，还能够通过硬件升级提升产能的需求，，，，， ，已在大硅片制造中应用。。。
海内自主研发的氢大束流离子注入平台
优异的工艺冷却模 ？？
优异的工艺匀称性
知足用户产能需求
