Universal-300 X 是凭证目今高端市场需求开发的先进12英寸CMP装备。。。。。该装备运用了永利集团具有自主知识产权的立异手艺，，，，，配备性能优越的抛光单位及洗濯单位，，，，，集成多种先进终点检测手艺，，，，，高效稳固、工艺组合无邪，，，，，可实现晶圆纳米级全局平展化，，，，，知足先进制程手艺需求，，，，，已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。。。。
超细密多分区抛秃顶
集成多种先进终点检测手艺
可实现产品干进干出
知足先进制程手艺需求
用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程