（人民网北京8月4日电）集成电路领域的高端装备国产化历程又进一步。。。。。记者今天从清华控股有限公司获悉，，，由清华大学科技效果乐成转化的海内首台12英寸化学机械抛光机克日交付使用。。。。。
化学机械抛光是通过使用化学侵蚀和机械作用对加工历程中的晶圆举行平展化处置惩罚，，，以便获得纳米级别的平整外貌，，，是集成电路制造工艺中的五大概害手艺之一。。。。。在国家科技重大专项“极大规模集成电路平展化工艺与质料”的支持下，，，清华大学研制出了海内首台12英寸“干进干出”铜制程抛光机，，，主要手艺指标抵达或者凌驾外洋最先进产品的水平。。。。。
清华控股成员企业天津永利集团机电科技有限公司接受清华大学的手艺转让，，，拥有了化学机械抛光的焦点手艺，，，在海内率先具备研发和生产12英寸前段和后段抛光整机装备的能力。。。。。克日，，，永利集团首台12英寸化学机械抛光机交付中芯国际，，，标记着海内12英寸化学机械抛光机已进入大型生产线。。。。。